17/06/2026
[정전기 분산성(ESD) 소재 출시]
이톰은 정전기 분산성(Electro Static Dissipative, ESD) 소재의 개발을 완료하고 국내 1'st tier 반도체 장비제조사와 협업을 통해 그 성능을 검증하고 있습니다.
이톰의 정전기 분산성 소재, [eGC series]는 glassy carbon 제조기술을 응용하여 제작하므로 다음과 같은 특징이 있습니다.
1) 제조공정에 따라 사용자가 필요로 하는 정전기 분산특성(저항값)을 자유롭게 조절할 수 있습니다.
2) 기존 폴리머 기반의 제전소재의 단점인 고온강도, 내화학성, 이물관리 측면에서 장점이 있습니다.
3) 특히, 300도 이상의 고온환경에서도 강도 변화가 없고, 카본블랙, 탄소섬유, 탄소나노튜브과 같은 별도의 도전성 소재를 사용하지 않으므로 이물(Particle) 발생원이 없는 것이 특징입니다.
[Launch of Electrostatic Dispersive(ESD) Material]
eTOM has completed the development of Electrostatic Dissipative(ESD) materials and is verifying their performance through collaboration with a Korean first-tier semiconductor equipment manufacturer.
eTOM's ESD dissipative material, the [eGC series], is manufactured using glassy carbon production technology and features the following characteristics:
1) The electrostatic dissipation characteristics(resistance value) required by the user can be freely adjusted according to the manufacturing process.
2) It offers advantages in terms of high-temperature strength, chemical resistance, and foreign matter management, which are shortcomings of existing polymer-based antistatic materials.
3) In particular, it is characterized by no change in strength even in high-temperature environments exceeding 300 degrees Celsius, and since it does not use separate conductive materials such as carbon black, carbon fiber, or carbon nanotubes, it is free from sources of particles.